晶圆制造解决方案之利器 — 中空伺服电机
2025-11-25 22:08:46
csmhk
中空伺服电机
半导体晶圆处理核心驱动解决方案
产品概述
中空轴伺服电机在半导体设备中扮演着至关重要的角色，主要用于晶圆吸附旋转技术，确保晶圆在清洗、涂胶、显影、刻蚀等关键工艺中的精确控制和稳定性。
核心技术
采用不锈钢中空转动轴设计和特殊低发尘润滑脂
核心优势
17bit高分辨率编码器支持，转速可达5000 RPM
应用场景
晶圆清洗
通过精确旋转晶圆确保清洗液均匀覆盖，提升清洗效率和质量
涂胶工艺
精确控制胶液涂布量与均匀性，确保晶圆胶层厚度一致
显影工艺
旋转晶圆使显影液均匀作用，精确显影电路图案
刻蚀工艺
旋转控制确保刻蚀液均匀作用，实现微米级精度的刻蚀效果
方案优势
空间优化
简化机械结构，相比传统皮带轮装置节省30%安装空间
粉尘控制
不锈钢中空轴与特殊润滑脂将粉尘发生量降低70%以上
高速高精度
17bit高分辨率编码器支持最高5000 RPM旋转精度
传统结构 VS 中空结构
结构简化带来的性能优化
传统结构 中空结构
规格选型
| 项目 | HZX80M-2430J92D4 | HZX130M-2430J92D4 | 其他定制 |
|---|---|---|---|
| 额定输出 | 750W | 1500W | 可定制 |
| 额定电压 | 220V | 220V | 可定制 |
| 额定扭矩 | 2.4 N.M | 6 N.M | 可定制 |
| 峰值扭矩 | 7.2 N.M | 18 N.M | 可定制 |
| 额定转速 | 3000RPM | 2500RPM | 可定制 |
| 最高转速 | 5000RPM | 3000RPM | 可定制 |
| 编码器 | 17bit单圈绝对值 | 17bit单圈绝对值 | 可定制 |
| 中空直径 | ⌀20mm | ⌀30mm | 可定制 |
80伺服电机结构示意图
