晶圆目检强光灯是由 光源模块(LED、卤素、滤光片), 光学透镜组件, 结构支撑部分(支架、底座),调光系统,供电模块等部分组成。主要用于晶圆表面颗粒及缺陷。发展历史1. 早期技术基础(1960年–1990年)·半导体发光技术突破:1960年代LED技术萌芽,1968年红光LED实现商业化,随后绿光、黄光LED相继出现,为后续照明应用奠定基础2。·传统光源应用:早期晶圆检测依赖卤素灯
2025-02-28 csmhk
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2025-02-21 csmhk