在批量湿法处理（wet bench）的工艺谱系中，QDR（Quick Dump Rinse，快速倾倒漂洗）与MCR（Multi Clean and Rinse，多清洗漂洗）是两种提升漂洗效率的关键技术。以ACM Research的Ultra C wb为代表的槽式设备，把SPM、RCA等化学清洗与QDR快速倾倒、MCR溢流漂洗集成在同一槽体，配合ATOMO干燥器完成干燥。这种工艺组合在先进节点仍有竞争力，原因在于批量处理的高产能与低化学品消耗。
QDR快速倾倒漂洗的原理
传统槽式漂洗靠超纯水缓慢溢流置换药液，耗时长、用水量大。QDR则在清洗完成后迅速把槽内药液一次性排空，再注入新鲜超纯水，通过快速倾倒与注满的湍流效应，在短时间内把残留化学液稀释到低位。这种“排空—注满”循环，比缓慢溢流更高效，显著缩短漂洗时间并降低超纯水用量。
MCR多槽漂洗的灵活性
MCR（Multi Clean and Rinse）在同一槽体中完成化学清洗与超纯水溢流漂洗，无需在不同槽间转移晶圆。晶圆在槽内先浸泡清洗，再切换为超纯水溢流漂洗，减少了转移过程中的空气暴露与二次污染。这种一体化设计，既节省设备占地，又保证工艺连贯性，适合对污染敏感的先进工序。
ATOMO干燥器的作用
槽式清洗后的干燥是难点：多片同时干燥容易出现水痕与不均匀。ATOMO等专门干燥器通过离心、氮气气流与IPA辅助，把槽内晶圆均匀干燥，避免单片干燥的产能瓶颈。干燥与清洗的协同，让批量湿法平台在先进节点仍能保持竞争力，而不是被单片设备完全替代。
超纯水用量的优化
QDR与MCR工艺的一个重要价值是降低超纯水消耗。传统溢流漂洗用水量大、排放多，而QDR通过快速倾倒大幅缩短漂洗时间，MCR则在同一槽内完成清洗与漂洗。在晶圆厂运行成本中，超纯水制备与处理是一项长期开支。清洗设备在设计时就考虑节水，不仅降低客户成本，也符合绿色制造的环保方向，长期效益显著，帮助客户降本增效，提升整体竞争力与盈利水平，实现稳健、高质量的成长壮大，引领国产湿法清洗设备行业的发展方向，赢得更多晶圆厂的信任。
批量与单片的工艺分工
批量湿法设备并非“落后”的代名词。对于对颗粒要求不极端、但产能与成本敏感的工序，批量处理仍是优选：一次处理25片或更多，单位成本低、化学品消耗少。先进节点只是把部分高要求工序转向单片，批量设备在成熟节点与特色工艺中仍有广阔市场。这种分工让湿法设备生态更完整。
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