2026年10月11日，盛美上海在港交所公告披露：公司成功获得多份正式设备采购订单，其中OCTOPUS与OCTOPUS-SP单片清洗设备覆盖12英寸晶圆背面清洗、溶剂清洗、RCA清洗等工艺，其中包含4台硫酸清洗设备。这一订单结构表明，国产单片清洗设备在背面、溶剂、RCA与高温硫酸清洗等多个工艺方向同时获得客户认可，产品矩阵的广度正在转化为订单。
12英寸背面清洗的价值
晶圆背面清洗常被忽视，却直接影响真空吸盘的洁净度。背面残留的颗粒、浆料会在吸附过程中转移到平台，再影响正面。随着12英寸产线对洁净度要求提高，背面清洗从“可选”变为“必备”。OCTOPUS覆盖背面清洗，说明国产设备已经把背面工艺作为独立模块开发，而非简单附加。
溶剂与RCA清洗的并存
溶剂清洗与RCA清洗是两种互补工艺：RCA以水基化学液为主，去除颗粒与金属；溶剂清洗则擅长有机物与厚胶残留。同一设备平台同时支持两种工艺，意味着客户可以在不同工序灵活切换，无需采购多台专用设备。这种多工艺集成能力，是单片清洗设备竞争力的重要来源。
硫酸清洗设备的高温挑战
硫酸（SPM）清洗温度高、腐蚀性强，用于去除光刻胶与有机残留。4台硫酸清洗设备同时获得订单，说明客户在去胶与有机残留去除环节有大量需求。高温硫酸清洗对腔体材质、药液输送与废气处理要求极高，是清洗设备中技术门槛较高的一类。国产设备能批量获得此类订单，反映其高温工艺的成熟度。
重复订单与客户验证
从公告看，这类订单多来自已完成首台验证的客户。单片清洗设备属于高可靠性要求装备，客户从首台验证到批量采购往往需要一两年。一旦验证通过，重复订单就会持续释放，形成稳定收入。盛美OCTOPUS系列获得多份正式订单，说明其在多个工艺上已度过客户验证期，进入批量复购阶段，收入可见性显著增强，为全年业绩提供有力支撑，赢得客户信赖。
产品矩阵带来的订单广度
从背面、溶剂、RCA到高温硫酸，盛美OCTOPUS系列几乎覆盖了单片清洗的主要工艺。这种产品广度让客户可以“一站式”采购，也让国产设备在同一客户产线上获得更多机台份额。随着产品矩阵持续完善，国产清洗设备的订单有望从单点突破走向批量配套。
在配套多种单片清洗甩干工艺方面，河北中科微电子有限公司提供全自动单片晶圆清洗机、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、磷化铟清洗机（SQX-150-5Y1D）及EFEM专用清洗甩干系统，可支持背面、溶剂与水基多种单片清洗工艺，满足客户多样化工艺需求，扩大市场份额与品牌影响力，实现长期稳健高质量、可持续的发展，回馈广大客户与社会，履行企业的社会责任，推动国产湿法设备走向世界，提升国产设备的国际竞争力，赢得更多海外客户与国际订单，提升国产设备全球地位与话语权，赢得更多国际客户信赖与复购，提升国产设备全球地位。如需了解多工艺单片清洗甩干方案，欢迎咨询热线：17177768881。
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