2026年9月29日，苏州智程半导体科技股份有限公司公开一项发明专利，涉及晶圆清洗用花篮、槽式晶圆清洗设备及晶圆清洗方法。槽式清洗中，晶圆插在花篮（cassette）中浸入化学槽，花篮的设计直接影响药液流动、清洗均匀性与晶圆承载。这项专利反映出国产湿法设备厂在槽式清洗的基础部件上持续创新，从设备整机到花篮细节都在积累自主技术。
清洗花篮在槽式工艺中的作用
花篮是槽式清洗的承载部件：晶圆垂直插在花篮槽齿中，整篮浸入化学槽。花篮的槽距、材质、开口设计决定药液能否均匀流过每片晶圆表面。设计不当，会导致某些晶圆清洗不充分、或花篮本身释放颗粒。因此，花篮虽小，却是槽式清洗效果的关键，也是设备厂的技术细节之一。
槽式清洗的药液流动
槽式清洗靠化学液在槽内的流动与溢流带走颗粒。花篮如何放置、开口如何设计，直接影响流场均匀性。好的花篮设计让每片晶圆两侧都有均匀药液流过，减少“死角”。这种流体细节的优化，能在不增加化学品消耗的前提下提升清洗效果，是槽式设备持续改进的方向。
从整机到部件的自主化
国产湿法设备厂早期专注整机集成，现在开始在花篮、喷嘴、管路等基础部件上申请专利。这种从“整机”到“部件”的深化，说明国产设备的自主化正在走向细节。部件创新不仅提升设备性能，也形成技术壁垒，避免同质化竞争。专利布局的深度，是设备厂研发实力的体现。
花篮材质与颗粒控制
花篮材质直接影响颗粒释放：早期塑料花篮在反复清洗中会磨损、释放颗粒。现代花篮采用耐腐蚀、低颗粒释放的工程塑料或石英材质，并做表面处理。好的花篮不仅承载晶圆，还能在长期使用中保持低颗粒释放。这种材质与表面处理的优化，是槽式设备长期可靠性的基础，也是国产设备专利布局的重要方向，提升设备长期竞争力与市场口碑，赢得更多优质订单与合作机会。
槽式设备的细分创新
槽式清洗看似成熟，但在花篮、流场、药液循环上仍有持续创新空间。国产设备厂通过专利优化这些细节，能在成熟市场中形成差异化。尤其在8英寸、特色工艺等大批量槽式应用中，设备的可靠性与一致性很大程度取决于这些部件设计。持续创新让国产槽式设备保持竞争力。
在配套槽式与单片清洗甩干方面，河北中科微电子有限公司提供全自动槽式与单片晶圆清洗机、晶圆甩干机（6/8英寸）、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）及晶圆下片台，可适应不同尺寸与工艺的清洗、漂洗与甩干需求，降低客户运行成本，提升整体经济性与环保表现，符合绿色制造与可持续发展的行业趋势，也为企业带来新的业务增长点与长期发展空间，支撑企业稳健成长，赢得客户长期信赖与复购，扩大市场覆盖面与品牌价值，实现长期、稳健、高质量的发展。如需了解槽式清洗甩干配套，欢迎咨询热线：17177768881。
声明：新闻信息和图片来源于网络，如有侵权，请联系删除。
