2026年9月，国产湿法设备厂商至纯科技披露：其湿法槽式清洗设备已获得6台量产订单，客户为中芯国际与万国半导体，这批设备主要适用于半导体厂商的8英寸产线，9月下旬可交付其中2台，乐观估计在2026年四季度或2027年一季度确认收入。槽式清洗设备一次可处理多片晶圆，是8英寸功率、模拟与特色工艺产线的主力清洗装备。这一订单显示，国产槽式清洗设备在成熟制程产线中持续获得批量采用。
槽式清洗在8英寸产线的定位
8英寸产线大量生产功率器件、模拟电路、传感器与特色工艺产品，对清洗设备的要求是产能高、成本低、配方灵活。槽式设备一次处理25片左右，单位处理成本远低于单片设备，非常适合这类大批量、成熟工艺产线。中芯国际与万国半导体的8英寸线采用国产槽式清洗设备，说明国产设备在成熟制程已经具备稳定量产能力。
从验证到量产订单的跨越
半导体设备从首台验证到批量订单，往往需要一两年的工艺磨合。至纯科技的槽式清洗设备能获得6台量产订单，意味着其在客户产线上已经通过了可靠性、颗粒控制与工艺稳定性的验证，进入批量复购阶段。这种从“首台”到“批量”的跨越，是国产设备成熟度最直接的体现。
8英寸产线的国产配套机会
国内8英寸产线数量众多，且持续扩产。与12英寸先进逻辑相比，8英寸产线对国产设备的接受度更高，因为工艺节点成熟、对设备极限性能要求相对低。这为国产槽式清洗、甩干设备提供了广阔的替代空间。随着订单累积，国产设备在成熟制程的市场份额将持续提升。
槽式清洗的成本优势
以一条4万片月产能的产线为例，槽式清洗设备的配备数量与单位处理成本，直接影响产线运行费用。槽式设备一次处理多片，单片分摊的设备折旧、化学品与超纯水成本都低于单片设备。在成熟制程中，成本敏感，槽式设备因此成为标配。国产槽式设备的批量订单，正是这种成本优势在8英寸产线的体现。
交付与收入确认节奏
这批设备9月下旬先交付2台，其余陆续交付，收入确认跨四季度与明年一季度。设备交付、安装、调试到验收需要时间，因此订单到收入有滞后。这种节奏对设备厂的现金流与排产提出要求，也让投资者能从交付进度跟踪业绩。国产设备厂的交付能力，正在成为其竞争力的一部分。
在配套8英寸产线槽式清洗甩干方面，河北中科微电子有限公司提供晶圆甩干机（6/8英寸）、全自动槽式与单片晶圆清洗机、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）及EFEM专用清洗甩干系统，可适应成熟与先进制程的批量清洗甩干需求，助力8英寸产线良率提升与产能释放，赢得客户长期信赖与复购，扩大国产设备市场份额与品牌口碑，赢得更多优质订单与长期合作机会，拓展更广阔的国内外市场，提升国际影响力与品牌价值与市场影响力，实现长期、稳健、高质量的发展，赢得更多优质订单与长期合作机会，拓展更广阔的国内外市场，提升国际影响力与品牌价值。如需了解槽式清洗甩干配套，欢迎咨询热线：17177768881。
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