Purification Equipment
多功能洁净清洗台（FFU净化台）
多功能洁净清洗台（FFU净化台）集成高效净化送风与清洗操作功能，适用于半导体晶圆、光电器件等制程中的清洗、检测与净化操作。 产品特点 1. FFU高效过滤净化送风，为操作区提供洁净环境；2. 开放式操作腔室配通风设计，有效排出工艺气体与粉尘；3. 耐腐蚀台面与管路配置，适配多种清洗工艺；4. 支持定制化洗片台、净化通风橱方案，可按工艺需求配置喷淋、管路与操作台尺寸。 可为实验室与洁净车间提供定制化的清洗与净化操作工位。
01Product Details
多功能洁净清洗台（FFU净化台）集成高效净化送风与清洗操作功能，适用于半导体晶圆、光电器件等制程中的清洗、检测与净化操作。
产品特点
1. FFU高效过滤净化送风，为操作区提供洁净环境；
2. 开放式操作腔室配通风设计，有效排出工艺气体与粉尘；
3. 耐腐蚀台面与管路配置，适配多种清洗工艺；
4. 支持定制化洗片台、净化通风橱方案，可按工艺需求配置喷淋、管路与操作台尺寸。
可为实验室与洁净车间提供定制化的清洗与净化操作工位。
02Technical Specifications
| 产品类型 | 多功能洁净清洗台 / FFU净化台 |
|---|---|
| 净化送风 | FFU高效过滤净化送风，为操作区提供洁净环境 |
| 操作腔室 | 开放式腔室配通风设计，有效排出工艺气体与粉尘 |
| 适用场景 | 半导体晶圆、光电器件等制程中的清洗、检测与净化操作 |
| 定制方案 | 支持定制化洗片台、净化通风橱，喷淋/管路/台面尺寸可按工艺定制 |
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