Cleaning Equipment
晶圆下片台（QDR清洗台）
晶圆下片台（QDR清洗台）用于晶圆抛光下片与清洗操作，集成花洒、水枪、QDR槽及溢流净化等功能。 布局设置 1. 左侧花洒，右侧水枪；2. QDR用4寸使用时配置一个小支撑；3. CASS是在满水溢流页面2cm下；4. 水溢流有阀门可控，并加装流量计，调节时可直观目视流量。 主要结构特征 无接触式晶圆下片机主要由主轴旋转部分、片盒夹具、工作腔、机架、门盖部分、QDR槽、洁净管路部分、电气控制等组成。
01Product Details
晶圆下片台（QDR清洗台）用于晶圆抛光下片与清洗操作，集成花洒、水枪、QDR槽及溢流净化等功能。
布局设置
1. 左侧花洒，右侧水枪；
2. QDR用4寸使用时配置一个小支撑；
3. CASS是在满水溢流页面2cm下；
4. 水溢流有阀门可控，并加装流量计，调节时可直观目视流量。
主要结构特征
无接触式晶圆下片机主要由主轴旋转部分、片盒夹具、工作腔、机架、门盖部分、QDR槽、洁净管路部分、电气控制等组成。
02Technical Specifications
| 设备功能 | 晶圆下片台 / QDR清洗台 |
|---|---|
| 布局配置 | 左侧花洒、右侧水枪 |
| QDR配置 | 4寸使用时配置小支撑 |
| 溢流设计 | CASS满水溢流页面2cm下，溢流阀门可控 |
| 流量监测 | 加装流量计，调节时可直观目视流量 |
| 设备构成 | 主轴旋转、片盒夹具、工作腔、机架、门盖、QDR槽、洁净管路、电气控制 |
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