产品分类 净化设备

多功能洁净清洗台（FFU净化台）

多功能洁净清洗台（FFU净化台）集成高效净化送风与清洗操作功能，适用于半导体晶圆、光电器件等制程中的清洗、检测与净化操作。 产品特点 1. FFU高效过滤净化送风，为操作区提供洁净环境；2. 开放式操作腔室配通风设计，有效排出工艺气体与粉尘；3. 耐腐蚀台面与管路配置，适配多种清洗工艺；4. 支持定制化洗片台、净化通风橱方案，可按工艺需求配置喷淋、管路与操作台尺寸。 可为实验室与洁净车间提供定制化的清洗与净化操作工位。