1. 产品概述:
防腐型晶圆真空吸笔是用于半导体、微电子行业,用于吸取和搬运晶圆的工具。它具备防静电、耐高温、耐酸碱的特性,适用于2"至12"晶圆的吸取。
2. 应用领域:
该工具专为晶圆制造及芯片生产流程中的湿法清洗阶段而设计,具备在腐蚀性化学药液中安全、精准地取放晶圆及芯片的能力。
3. 技术参数:
品牌与型号:
品牌: CSMHK
型号: VSP-PTW-2
适用尺寸:2寸3寸
材质
吸笔头: PEEK(聚醚醚酮),具有耐高温、耐化学腐蚀、低摩擦系数和优异的电气性能。
中间连接杆:钛管
笔身: 铁氟龙材质,防静电设计。
真空度:长寿命耐腐蚀PTFE隔膜电动泵: 提供-10pa—-50pa真空度。
真空端口: 集成了可更换的入口过滤器,保护工具免受灰尘颗粒的影响。
换气阀:长寿命耐腐蚀PTFE电磁阀。
释放泵:长寿命耐腐蚀PTFE隔膜电动泵: 提供10pa—50pa正压释放气。
操作方式:
按钮式操作: 真空常开,按下按钮释放晶圆。
脚踏式操作: 通过按下脚踏开关来吸取晶圆,松开脚踏后关闭真空并释放晶片。
防静电性能: 符合ESD防静电安全要求,适用于Class 100洁净室等级。
吸力/释放力调节:
可调式耐腐蚀电动泵: 通过旋钮调整吸力/释放力大小,以适应不同厚度和脆弱度的晶圆。
4. 产品特性:
高纯度: 不含有卤族元素,对半导体材料无污染。
耐高温: 吸笔头可以瞬间加温至300摄氏度,持续加温至250摄氏度。
结构设计: 便捷的结构设计,手动真空吸笔,拾取电子零件及小产品特别方便、简单。
吸力强劲: 体积小,吸力强,移动快速轻便。
保护产品表面: 不会污染产品表面。
5. 配件与选件:
吸笔头: 提供多种尺寸的PEEK吸笔头,包括VSP-PT-02(2寸)、VSP-PT-04(4寸)、VSP-PT-03(3寸)、VSP-PT-06(6寸)、VSP-PT-08(8寸)、VSP-PT-12(12寸),其他特殊尺寸可定制。
气管: 提供1/4英寸或6mm外径的气管,确保气流通畅。