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耐水型/耐腐型晶圆真空吸笔

1.产品概述:防腐型晶圆真空吸笔是用于半导体、微电子行业,用于吸取和搬运晶圆的工具。它具备防静电、耐高温、耐酸碱的特性,适用于2"至12"晶圆的吸取。2.应用领域:该工具专为晶圆制造及芯片生产流程中的湿法清洗阶段而设计,具备在腐蚀性化学药液中安全、精准地取放晶圆及芯片的能力。3. 技术参数:品牌与型号:品牌:CSMHK型号:VSP-PTW-2适用尺寸:2寸3寸材质吸笔头:PEE

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1. 产品概述:

防腐型晶圆真空吸笔是用于半导体、微电子行业,用于吸取和搬运晶圆的工具。它具备防静电、耐高温、耐酸碱的特性,适用于2"至12"晶圆的吸取。

2. 应用领域:

该工具专为晶圆制造及芯片生产流程中的湿法清洗阶段而设计,具备在腐蚀性化学药液中安全、精准地取放晶圆及芯片的能力。

3. 技术参数:

品牌与型号:

品牌: CSMHK

型号: VSP-PTW-2

适用尺寸:2寸3寸

材质

吸笔头: PEEK(聚醚醚酮),具有耐高温、耐化学腐蚀、低摩擦系数和优异的电气性能。

中间连接杆:钛管

笔身: 龙材质,防静电设计

真空度:长寿命耐腐蚀PTFE隔膜电动泵: 提供-10pa—-50pa真空度

真空端口: 集成了可更换的入口过滤器,保护工具免受灰尘颗粒的影响

换气阀:长寿命耐腐蚀PTFE电磁阀。

释放泵:长寿命耐腐蚀PTFE隔膜电动泵: 提供10pa—50pa正压释放气

操作方式:

按钮式操作: 真空常开,按下按钮释放晶圆

脚踏式操作: 通过按下脚踏开关来吸取晶圆,松开脚踏后关闭真空并释放晶片

防静电性能: 符合ESD防静电安全要求,适用于Class 100洁净室等级

吸力/释放力调节:

可调式耐腐蚀电动泵: 通过旋钮调整吸力/释放力大小,以适应不同厚度和脆弱度的晶圆

4. 产品特性:

高纯度: 不含有卤族元素,对半导体材料无污染

耐高温: 吸笔头可以瞬间加温至300摄氏度,持续加温至250摄氏度

结构设计: 便捷的结构设计,手动真空吸笔,拾取电子零件及小产品特别方便、简单

吸力强劲: 体积小,吸力强,移动快速轻便

保护产品表面: 不会污染产品表面

5. 配件与选件:

吸笔头: 提供多种尺寸的PEEK吸笔头,包括VSP-PT-022寸)VSP-PT-044寸)、VSP-PT-033寸)VSP-PT-066寸)、VSP-PT-088寸)、VSP-PT-1212寸)其他特殊尺寸可定制

气管: 提供1/4英寸6mm外径的气管,确保气流通畅



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