1、设备概况
1.1应用领域：半自动单片清洗机是高洁净度清洗设备, 具有药液清洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。其主要用于兼容2-6寸磷化铟晶圆半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：半自动单片清洗机
1.3型号：SQX-150-5Y1D
2、主要结构特征
半自动单片清洗机主要伺服电机，供药系统，PLC控制器，高洁净阀门，PFA管等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟5-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
3、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工尺寸 | 兼容2、3、4、6寸晶圆 |
单次甩干数量 | 1片 |
工位数量（个） | 1 |
机台上下片方式 | 手动上下片 |
旋转速度 RPM/MIN | 5-5000rpm可设定 |
清洗方式 | 药液清洗/兆声清洗/纯水清洗 |
药液数量 | 5种 |
药液喷嘴 | 上下两面 独立供液 |
药液槽 | 5个 10L PVDF药液槽 |
适用药液类型 | 冷硫酸、热硫酸、SC1、酒精、酸性药液 |
药液加热 | 1种（热硫酸） |
供药方式 | 压控法 |
出药口大小 | 正面5路
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药液流量调节 | 10路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
药液流量监控 | 4路（正药液4路，背药液4路） |
DIW水冲洗 | 2路 |
DI水流量调节 | 2路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
DI水出口大小 | 2路 正背面外径4mm内径2mm
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水流量监控 | 2路（正水1路，背水1路） ） |
兆声水冲洗 | 1路 |
兆生水流量调节 | 1路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
清洗甩干时间 | 2-5min |
氮气压力 | 0.15Mpa，氮气管接口1/4英寸 |
纯水压力 | 0.15Mpa， 管接口1/4mm |
排水管 | 2路φ19mm（水 药液） |
排风管 | 两路110mm/75mm |
显示/控制系统 | 7寸触摸屏+PLC可编程控制器 |
管路材料 | PFA |
电源 | 220V |
整机功率 | 5KW |
外型尺寸（深*宽*高）mm | 长660mm*宽760mm*高1332mm
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4、产品外观
