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单晶炉,晶体生长炉,砷化镓VGF单晶炉,全自动VGF升降长晶炉,VGF碲锌镉长晶炉

一、设备概况1.1产品应用:主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓,碲锌镉等化合物晶体的生长。1.2产品特点:1.2.1工业计算机控制系统(WINDOWS系统界面,操作方便简洁);1.2.2关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性;1.2.3控温精度高,温区控温稳定性好;1.2.4具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;1.2.5晶体生长均匀性好、重复性高。二、主要技术参数工作温度6

晶圆单片清洗机,晶圆甩干机,单晶炉,多晶炉,区熔炉,,晶片检测强光灯,单片甩干机,梅耶博格内圆锯,晶圆倒角机

一、设备概况

1.1产品应用:主要用于26英寸锗单晶、砷化镓,碲锌镉等化合物晶体的生长

1.2产品特点:
1.2.1工业计算机控制系统(WINDOWS 系统界面,操作方便简洁)
1.2.2关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
1.2.3控温精度高,温区控温稳定性好
1.2.4具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
1.2.5晶体生长均匀性好、重复性高

二、主要技术参数

工作温度

6001280℃

适应晶体尺寸

26英寸

装料量

15Kg/

加热控制

7段控制

温区长度

800mm±0.5℃10001280℃) (可定制)

升温速率

15℃/min

升降行程

900mm

最小升降速率(VB

0.1mm/h

配套设备

合成炉、铸锭炉、脱氧封管炉等



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