中空轴伺服电机，空心轴伺服电机，中空轴电机

中空伺服电机简介

中空轴伺服电机在半导体设备中扮演着至关重要的角色。它主要用于晶圆吸附旋转，确保晶圆在清洗、涂胶、显影、刻蚀等工艺过程中的稳定性和精确性。该电机具备一系列独特的性能特点，使其成为半导体设备中的理想选择。

半导体工艺流程图

应用场景

晶圆清洗：在晶圆清洗过程中，中空轴伺服电机用于吸附并旋转晶圆，确保清洗液能够均匀覆盖晶圆表面，从而提高清洗效率和质量。

涂胶：在涂胶工艺中，电机用于精确控制胶液的涂布量和均匀性，确保晶圆上的胶层厚度一致，有助于提高半导体器件的良品率。

显影：在显影过程中，电机用于旋转晶圆，使显影液能够均匀作用于晶圆表面，从而准确显露出所需的电路图案。

刻蚀：在刻蚀工艺中，电机同样用于旋转晶圆，确保刻蚀液能够均匀作用于晶圆表面，实现精确的刻蚀效果。

应用案例

方案优势

1空间优化

以往的结构是伺服通过皮带轮装置连接中空轴，结构相对复杂，占据空间。通过采用中空伺服电机，可简化机械结构以实现节省空间的目的。

2粉尘减少

中空部的转动轴采用不锈钢，并选用低发尘规格的特殊润滑脂，有效地减少了粉尘的发生。

3高速高精度

搭载了17bit高分辨率编码器（可定制24bit）， 最大速度可达5000 RPM。

传统伺服电机结构 VS 中空伺服电机结构

规格选型

80伺服电机示意图