1、设备概况
1.1应用领域：单片清洗甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。其主要用于兼容4-12寸晶圆半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：单片清洗甩干机
1.3型号：QXG-300-4YDN
2、主要结构特征
单片清洗甩干机主要伺服电机，PLC控制器，人机界面，高洁净阀门，PFA管，氮气加热器，防腐蚀进口PP外壳，以及甩干头等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟10-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
3、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工尺寸 | 兼容4-12寸晶圆 |
单次甩干数量 | 1片 |
工位数量（个） | 1 |
机台上下片方式 | 手动上下片 |
旋转速度 RPM/MIN | 10-5000rpm可设定 转速精度＜1rpm |
清洗方式 | 双面PVA刷洗/兆声清洗/N2氮气吹干 |
药液数量 | 1种 |
药液喷嘴 | 上下两面 独立供液 |
药液槽 | 1个 10L PVDF药液槽 |
适用药液类型 | NH40H或其他清洗药液 |
供药方式 | PVDF磁力泵或压控阀 |
药液流量调节 | PFA手阀 10ml-1000ml/min |
药液流量监控 | 有 |
PVA刷布局 | 上下各一个 |
PVA刷尺寸 | 长度170mm内径31mm外径70 mm |
DIW水冲洗 | 有 |
DI水流量调节 | PFA手阀 10ml-1000ml/min |
兆声波喷头 | 有 |
吹气功能 | 有 带锥形和扇形喷嘴可更换 |
清洗甩干时间 | 2-5min |
氮气压力 | 0.15Mpa，氮气管接口1/4英寸 |
纯水压力 | 0.15Mpa， 管接口3/8mm |
排水管 | 2路φ20mm（水 药液1） |
显示/控制系统 | 7寸触摸屏+PLC可编程控制器 |
管路材料 | PFA |
电源 | 220V |
整机功率 | 3KW |
外型尺寸（深*宽*高）mm | 长660mm*宽760mm*高1332mm |